| 処理能力 |
1バッチ4枚セット×2 |
| サイクルタイム |
60秒以下 |
| ワーク着脱 |
手作業 |
| 操作盤 |
タッチパネル仕様 |
| 安 全 |
前面ワーク出入り口:安全スクリーン(エリアセンサー)×2式
:透明トレー確認用レーザーセンサー×2式 |
| 除電装置 |
エアーイオナイザーBF-4×2台
エアー式除電電極BUAS型×2台(高圧電源SAT-10) |
| エアーブロー |
エアーノズル:104個×2式(26個/ワーク)
風速40〜50m/s |
| 排気ファン |
AH-500×2台 最大風量20cm3/min
※排気ダクトの口径は、Φ200となります |
| エア-タンク容量 |
100L×2台 |
| 騒音(作業時) |
75db以下 |
| ワーク寸法 |
550mm×300mm×25mm(最大)
300mm×300mm×25mm(最小) |
| 外形寸法 |
1700mm×2000mm×2100mm |
| 重 量 |
約1500kg |
| 電 源 |
AC200V、3相、1.5KW |
| エアー源 |
0.5Mpa以上(1000L/分) |